威卡WUD-2x系列高純傳感器將先進的傳感器理念與模擬輸出信號相結(jié)合， 能夠為當前市場需求提供安全、準確的壓力測量。基于真空基準的壓力測量，以及干擾屏蔽和信號噪聲消除的電子措施，確保了高準確度的壓力測量和長期穩(wěn)定性。主動溫度補償功能減少了溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度波動較大的應(yīng)用中（如氣體膨脹情況下的焦耳-湯姆遜效應(yīng)）或無空氣調(diào)節(jié)區(qū)域也能安全運行。WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設(shè)計，可承受安裝帶來的扭曲應(yīng)力。薄膜傳感器的特殊設(shè)計消除了由于過程連接或焊接接頭處的負載而導(dǎo)致的傳感器故障的風險。WUD-2x可輕松安裝于“on-tool"配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)，因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。配備2個可編程開關(guān)輸出，可針對具體應(yīng)用進行監(jiān)測及控制。WUD-2x為緊湊型UHP傳感器， 夠用于安裝空間狹小的場合，甚至可輕松對現(xiàn)有裝置進行改裝。

WIKA半導(dǎo)體高純氣路系統(tǒng)UHP壓力傳感器WUD-26

應(yīng)用

半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能光伏產(chǎn)品

半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中的超高純氣體供應(yīng)

功能特性

高準確度壓力測量0.15 % RSS

出色的長期穩(wěn)定性

信號降噪和屏蔽

真空基準壓力測量

主動溫度補償

WIKA半導(dǎo)體高純氣路系統(tǒng)UHP壓力傳感器WUD-26